ซิลิกอนเวเฟอร์บด/ขัดคอลลอยด์ซิลิกา

คุณสมบัติสารละลายขัดเวเฟอร์ซิลิกอน

• KONA มีชุดของผงขัดและขัดและสารละลายสำหรับขัดเวเฟอร์ซิลิกอนขัดหยาบและขัดสุดท้ายที่ใช้ในกระบวนการ planarization ทางเคมีของเวเฟอร์ซิลิกอน

• เรานำเสนอซิลิกาคอลลอยด์สำหรับกระบวนการขัดขั้นสุดท้ายแบบเวเฟอร์ซิลิกอนซึ่งสามารถใช้ได้ทั้งในการขัดด้านเดียวและสองด้าน

• เราพัฒนานาโนอัลคาไลน์คอลลอยด์ซิลิกาสำหรับเคมีขัดกล (CMP) ของเวเฟอร์ซิลิกอนซึ่งมีการกระจายตัวและความมั่นคงที่ดีช่วยเพิ่มอัตราการกำจัดวัสดุ (mrr), และปรับปรุงความขรุขระของพื้นผิว (ra/rz)

• เรามีความสามารถในการพัฒนาสารละลายขัดที่เหมาะสมเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

  
  

รายละเอียดของสารละลายขัดเวเฟอร์ซิลิกอน

ในกระบวนการของการประมวลผลเครื่องเวเฟอร์ซิลิกอนรวมถึงการตัดหลายสายการบดและกระบวนการประมวลผลอื่นๆซึ่งจะทำให้ชั้นความเสียหายบนพื้นผิว ณจุดนี้จำเป็นต้องขัดด้วยกลไกทางเคมีเพื่อทำให้แผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนที่มีความเรียบและเสร็จสิ้นที่ดีและมั่นใจได้ถึงความสมบูรณ์ของตาข่าย ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้ของเหลวขัดเวเฟอร์ซิลิกอนสามารถลบชั้นที่เสียหายของเวเฟอร์ซิลิกอนในเวลาเดียวกันโดยไม่ทำลายตาข่าย, ดังนั้นโคน่าจึงเลือกซิลิกาอนุภาคที่แตกต่างกันเป็นของเหลวขัดเวเฟอร์หยาบและสุดท้ายที่พัฒนาขึ้น